广东真空科技产业保持高速增长 迫切需要技术升级和产业转型

　　本报讯（记者 郭静 通讯员 柯纪协 刘少芳）什么是真空科技？为什么国内真空装备制造及应用大省，却在高端设备市场，特别高性能新型真空镀膜装备方面，几乎完全被国外大公司垄断？如何走出中低端技术瓶颈？第四代宽禁带半导体、半导体紫外LED、精密光学薄膜技术的发展和应用前景如何？2017年12月29日，在广东惠州召开的“粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛”开展相关领域的前瞻性讨论。论坛邀请了国内真空科技与宽禁带半导体应用方面的权威知名专家到会做特邀报告，包括中国科学院王家骐院士，西安交通大学、国家千人计划特聘教授王宏兴教授，华中科技大学、教育部新世纪优秀人才、楚天学者、上市企业创办人陈长清教授，华南理工大学、国家973首席科学家、珠江学者彭俊彪教授等。

　　据介绍，真空科技是工业制造加工技术的关键和基础之一，真空装备特别是真空镀膜机械，广泛应用于几乎所有重要的产业领域。而广东省是国内真空装备第一应用大省，也是真空装备生产制造大省，拥有真空装备制造及真空技术应用企业近万家，相关产业保持多年连续高速增长，特别是随着电子信息产业的需求不断增长而规模随之扩大。

　　数据显示，2016年广东省真空相关产业的工业总产值达到1.5万亿元以上，占全国行业市场份额及产值的40%以上，而且每年还以9%以上的速度递增式发展。广东省内真空装备制造业产值约占全国1/3的份额，在中低端工业真空设备市场竞争力很强，拥有较强的成套设备系统集成能力。然而，在高端设备市场，特别高性能新型真空镀膜装备方面，几乎完全被国外大公司垄断。近年来，中低端市场日趋饱和，广东省内真空产业面临着技术升级和产业转型的迫切需求。

　　值得一提的是，第三代半导体是以氮化镓、碳化硅、氧化锌、金刚石、氮化铝为代表的宽禁带半导体材料，它们是半导体照明芯片、半导体激光器、下一代高速无线通信器件不可或缺的关键基础材料。第三代半导体的制造离不开技术先进的高性能真空装备与薄膜制备工艺。令人遗憾的是，广东省内装备制造企业在高端真空镀膜设备方面少有涉及，有些才刚刚起步。

　　记者还从现场获悉，中国将从2021年起淘汰含汞荧光灯产品的生产和使用，紫外LED将逐步替代汞灯，紫外发光二极管（LED）克服了汞灯的缺点，结构简单、绿色环保、光谱单一可调节，与汞灯相比省电90%、寿命长5-10倍，具有众多优势，引领未来的创新应用。比如2017年全球紫外应用市场规模约50亿元，2021年国内市场规模预计可达百亿级，工业/民用领域的庞大需求对紫外光源是一个巨大的市场机会。而紫外光源市场中，紫外UV-LED光固化、光疗、杀菌消毒已成为未来技术发展趋势。因此，研制高性能紫外LED是国家在民用、军用领域的迫切需求，也是对国外技术垄断的打破，填补国内技术空白，有利于中国核心创新技术的沉淀。

　　据介绍，此次由广东省科学技术协会主办，广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟和信利国际有限公司承办的“粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛”是2017年岭南科学论坛系列活动之一。会议主题包括真空装备新技术新工艺、等离子体物理与技术、真空获得与计量、表面与涂层技术、薄膜技术、纳米科学与技术、平板显示技术、光电子材料与器件、新能源材料与器件等领域。为时两天的会议还颁发了“科润杯-广东省真空科技终身成就奖”和“第三届振华杯青年优秀论文奖”。